含TiAlN薄膜應用於牙科器械之研究

本研究採用氮化鋁鈦薄膜之技術應用於不銹鋼牙科鑽頭上。調整製程參數以不銹鋼醫療器械上披覆氮化鋁鈦薄膜，本研究成功地利用濺鍍法對不銹鋼進行表面改質，經濺鍍TiAlN膜之表面俱有較未鍍膜表面有較佳之機械性質以及潤濕性。於本研究中，薄膜之膜厚與機械性質(硬度及耐磨耗)主要受濺鍍功率以及工作溫度影響，增加濺鍍功率以及工作溫度可以有效地增加薄膜厚度，且有效提升表面硬度以及磨耗。