黃茂栓石明芬2026-05-142026-05-142013-01-12https://203.71.86.71/handle/123456789/13998學位別:碩士 語文別:中文 指導教授:黃茂栓 共同指導教授: 口試委員:謝世峯;歐耿良 中文關鍵字:氮化鋁鈦薄膜;濺鍍;耐磨耗本研究採用氮化鋁鈦薄膜之技術應用於不銹鋼牙科鑽頭上。調整製程參數以不銹鋼醫療器械上披覆氮化鋁鈦薄膜,本研究成功地利用濺鍍法對不銹鋼進行表面改質,經濺鍍TiAlN膜之表面俱有較未鍍膜表面有較佳之機械性質以及潤濕性。於本研究中,薄膜之膜厚與機械性質(硬度及耐磨耗)主要受濺鍍功率以及工作溫度影響,增加濺鍍功率以及工作溫度可以有效地增加薄膜厚度,且有效提升表面硬度以及磨耗。系所名稱:醫療器材產業碩士專班含TiAlN薄膜應用於牙科器械之研究Research of wear resistance on the dental devices coated with TiAlN filmthesis